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　　专利摘要显示，本申请提出了一种晶圆贴膜载台，包括：基板，基板X轴方向上设置有滑轨；承载台，承载台可滑动的设置于滑轨上方；承载板，承载板通过设置在承载台上的支撑柱固定；鼓风机，鼓风机设置于基板下方，且鼓风机中心点与承载板中心点位于同一轴线；真空组件，设置于承载台上；其中，鼓风机一端抵近承载板，且鼓风机产生的气体流量大于真空组件产生的气体流量。通过鼓风机与真空组件相配合，可针对不同翘曲度的晶圆，使得晶圆更好的贴附在载台上。